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百級超凈間：按照“美國聯(lián)邦標準209E-潔凈室和潔凈區(qū)的環(huán)境控制要求”的規(guī)定，百級潔凈間的顆粒要求為@0.5um/ft³≤100pc、@0.3um/ft³≤300pc、@0.2um/ft³≤750pc；

參照《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB50073-2013）中的規(guī)定：

風(fēng)速要求：0.2~0.4m/s；

氣流流型：單向流；

噪音要求：≤65dB(A)；

壓差要求：潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa；

照度要求：無采光窗的潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)用房一般照明的照度標準值宜為200Lx~500Lx，輔助用房、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊宜為150Lx~300Lx；